台積電晶圓廠設備復原率逾8成新建廠估今晚完全復原

（中央社記者張建中新竹4日電）花蓮近海4月3日發生規模7.2地震，台灣半導體供應鏈受影響情況備受矚目。台積電晚間表示，今天晶圓廠設備的復原率已超過80%，新建的晶圓廠如晶圓18廠預計今晚皆可完全復原。

台積電昨晚指出，4月3日的地震在新竹、龍潭和竹南等科學園區最大震度為5級，台中和台南科學園區的最大震度為4級。

台積電表示，在台灣的晶圓廠工安系統正常，為確保人員安全，依公司內部程序啟動相關預防措施，部分廠區在第一時間進行疏散，人員皆平安並在確認安全後回到工作崗位，詳細影響正在確認中。

基於在地震應變和災害預防上擁有豐富經驗與能力，並定期進行安全演習以確保萬全準備。台積電指出，地震發生10小時內，晶圓廠設備的復原率已超過70%，新建的晶圓廠如晶圓18廠的復原率已超過80%。

台積電今天晚間進一步表示，4日晶圓廠設備復原率已超過80%，新建的晶圓廠如晶圓18廠預計在今晚皆可完全復原。部分廠區的少數設備受損，並影響部分產線生產，不過主要機台包含所有極紫外光（EUV）微影設備皆無受損。

據了解，台積電晶圓廠生產並未因地震而中斷，並沒有停工，僅部分廠區的少數設備受損，影響部分生產線生產，不同廠區情況不一。

台積電表示，主要機台包含所有極紫外光（EUV）微影設備皆無受損。目前已有資源到位以加速達到全面復原，且持續復工中，台積電也與客戶保持密切溝通，並繼續密切監控並適時與客戶直接溝通相關影響。（編輯：黃國倫）1130404

台積電晶圓廠設備復原率逾8成 新建廠估今晚完全復原