台積電取得IMS 10%股權 驅動微影技術創新

（中央社記者吳家豪台北13日電）美商晶片大廠英特爾同意出售旗下奧地利晶片製造設備商IMS Nanofabrication Global, LLC 10%股權給台積電，英特爾表示，這項投資為IMS增強獨立性，將帶動關鍵微影技術發展，使整個半導體製造生態系受惠。

晶圓代工廠台積電12日臨時董事會通過決議，核准以不超過4.328億美元（約新台幣138億元）額度內，取得IMS 10%股權；另決議核准以不超過1億美元額度內，認購安謀（Arm）普通股股份。

英特爾在官網發布新聞稿說明，台積電投資案預計今年第4季完成，英特爾將保有IMS大部分股權，IMS將持續以獨立子公司運作。

英特爾自2009年開始投資IMS，並於2015年收購剩餘股權。今年6月英特爾出售約20%的IMS股權給私募股權公司貝恩資本（Bain Capital）。

英特爾指出，IMS研發的多光束光罩寫入工具（multi-beam mask writing tool），對於發展先進極紫外光（EUV）微影技術相當重要。台積電與貝恩資本對IMS的投資，為IMS增加獨立性，也讓IMS在面對未來龐大機會時更有信心。

英特爾表示，這項投資案將幫助IMS加速成長，驅動下一階段微影技術創新，引領產業轉型發展全新的圖案化系統，例如高數值孔徑極紫外光（High-NA EUV）。

英特爾企業發展資深副總裁波爾瑞爾（Matt Poirier）說，這項投資代表IMS正在深入拓展產業合作，帶動關鍵微影技術發展，將使整個半導體製造生態系受惠。隨著獨立性增強，IMS將處於有利地位，能在未來10年和更長時間，把握多光束光罩寫入工具的重要成長機會。（編輯：張均懋）1120913

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